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材料表面物理气相沉积镀膜技术
发布时间:2020/5/15   点击次数:3012 

一、简介

物理气相沉积(PVD)是利用热蒸发、辉光放电或弧光放电等物理过程,在基材表面沉积所需涂层的技术。材料工程学院可以提供溅射镀膜和离子镀膜两种物理气相沉积技术方面的服务。

二、主要技术特点

物理气相沉积技术具有以下特点:镀层材料广泛,可镀各种金属、合金、氧化物、氮化物、碳化物等化合物镀层,也能镀制金属、化合物的多层或复合层;镀层附着力强;工艺温度低,工件一般无受热变形或材料变质等问题。

三、应用情况

物理气相沉积镀膜技术的应用可大致分为机械功能膜和物理功能膜两大类。前者包括耐磨、减摩、耐热、抗蚀等表面强化薄膜材料、固体润滑薄膜材料;后者包括电、磁、声、光等功能薄膜材料等。

用TiN,TiC等超硬镀层涂覆刀具、模具等表面,摩擦系数小,化学稳定性好,具有优良的耐热、耐磨、抗氧化、耐冲击等性能,既可以提高刀具、模具等的工作特性,又可以提高使用寿命,一般可使刀具寿命提高3~10倍。

在高温、低温、超高真空、射线辐照等特殊条件下工作的机械部件不能用润滑油,只有用软金属或层状物质等固体润滑剂。其中溅射法制取Mo2S膜及聚四氟乙烯膜十分有效。该法得到的Mo2S膜致密性好,附着性优良,摩擦系数在0.02~0.05范围内。溅射法制取的聚四氟乙烯膜的润滑特性不受环境湿度的影响,可长期在大气环境中使用,是一种很有发展前途的固体润滑剂。其使用温度上限为50℃,低于-260℃时才失去润滑性。Mo2S、聚四氟乙烯等溅射膜,在长时间放置后性能变化不大,这对长时间备用、突然使用又要求可靠的设备如防震、报警、防火、保险装置等是较为理想的固体润滑剂。

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